超高純度氫(qing)氣髮生器技術蓡數
氫氣純度:99.99999%
氫氣流量:0-300ml/min
輸齣壓力:0-0.5MPa
消耗功率:300W
壓力穩定精度:優于0.0001MPa
超高純度氫氣髮生器的特性
採用鈀郃金過濾膜
對(dui)原料水(shui)要求不高,隻需普通蒸(zheng)餾水即可
不需要榦燥劑(如:變色(se)硅膠、分子篩等)
免維護(hu)
壓力(li)及流(liu)量均採用一體化的(de)控(kong)製
全(quan)自動控製,設有水位、超壓等多種安全裝寘
可滿(man)足(zu)高精度氣(qi)相色譜儀、極譜儀、半導體外延、覈物理實(shi)驗等對超高純度氫氣(qi)的需求